FITI, '반도체 가스 성능·안전 평가지원센터 구축사업' 선정

2030년까지 반도체 가스 품질·안전 평가 인프라 조성

고순도·고기능 반도체 특수가스 국산화·공급망 안정화 견인

FITI시험연구원(FITI) 서울 본원 전경.ⓒFITI

FITI시험연구원(FITI)이 2030년까지 반도체 가스 품질·안전 평가 인프라를 조성한다. 이를 통해 고순도·고기능 반도체 특수가스 국산화와 공급망 안정화를 견인한다는 방침이다.

FITI는 산업통상부 주관 '2026년도 반도체 가스·챔버 기반조성 신규사업' 공모에서 '반도체 가스 성능·안전 평가지원센터 구축사업'의 주관연구기관으로 최종 선정됐다고 18일 밝혔다.

이번 사업은 오는 2030년까지 5년간 총 사업비 230억원이 투입된다. 주관기관인 FITI를 필두로 충북테크노파크, 한국기계전기전자시험연구원(KTC)이 수행기관으로 참여해 ▲반도체 가스 품질·안전 평가지원센터 구축 ▲반도체 가스 기초 품질·안전성 평가 장비 30종 구축 ▲시험평가·분석·인증 지원과 표준 매뉴얼 수립 ▲기술협력 네트워크 조성 등을 공동 추진한다.

건립되는 '반도체 가스 품질·안전 평가지원센터'는 충청북도 청주시 오창과학산업단지 내에 연면적 1320㎡(지상 2층) 규모로 들어선다. 센터는 향후 반도체 가스에 대한 정밀 품질분석, 독성·안전성 평가, 시험인증 체계 구축 등을 수행하게 된다. 국내 반도체 공정소재의 기술 자립화와 공급망 안정화를 지원한다.

최근 인공지능(AI) 고성능 컴퓨팅(HPC), 첨단 패키징 등 차세대 반도체 시장이 고도화됨에 따라 초미세 공정에 필수적인 고순도·고기능 특수가스 수요가 급증하고 있다.

이에 따라 반도체 제조공정에 사용되는 가스 소재의 고순도 분석, 미량 불순물 평가, 공정 적합성 검증 등 정밀 품질평가의 중요성이 어느 때보다 높아진 상황이다.

FITI는 그동안 반도체 메인보드 기능안전평가, 불량원인분석, 수명평가 등에서 다져온 시험·분석 역량을 바탕으로 이번 사업을 통해 공정용 가스 소재 분야까지 지원 영역을 확대한다.

나아가 반도체 소재·부품·장비(소부장) 산업과 연계해 전구체 등 첨단 공정소재 전반으로 사업 범위를 넓혀나갈 방침이다.

윤주경 FITI 원장은 "반도체 가스 품질·안전 평가지원센터는 대한민국 반도체 소재의 안정적인 공급과 기술 경쟁력을 확보하기 위한 핵심 인프라가 될 것"이라며 "충북 지역의 반도체 산업과 긴밀히 연계해 시험인증 기업지원 체계를 공고히 하고 전후방 산업이 동반 성장하는 건강한 반도체 생태계를 조성하는 데 이바지하겠다"고 전했다.