EUV 장비 국내 도입 34일→9일…검사비용 장비당 약 5억원 절감 효과

반도체 초격차 유지 기여 기대

친환경 액화 CO₂ 세정설비 기준 신설

안전관리자 기준 완화

극자외선(EUV) 장비 현장 설치 제품.ⓒ산업통상부

정부가 반도체 핵심 공정에 사용되는 극자외선(EUV) 장비의 국내 도입 절차를 대폭 간소화하며 첨단 생산라인 구축 지원에 나선다. 글로벌 안전기준을 충족한 반도체 제조장비에 대해 고압가스 일반제조시설이 아닌 '특정설비' 기준을 적용하는 것이 핵심이다.

산업통상부는 2일 '고압가스 안전관리법 시행령' 일부개정안이 국무회의에서 의결됐다고 밝혔다. 이번 개정안은 다음 주 중 공포 후 즉시 시행될 예정이다.

그동안 반도체 공정에 필수적인 EUV 장비는 내부에 고압가스 배관과 장치가 포함돼 현행 법령상 '고압가스 제조설비'로 분류돼 왔다.

이로 인해 장비를 설치할 때마다 매번 기술검토와 검사를 받아야 해 장비 도입이 지연되고 기업 부담이 가중된다는 현장의 지적이 지속적으로 제기돼 왔다.

이번 제도 개선으로 삼성전자와 SK하이닉스 등 국내 반도체 기업들은 EUV 장비 도입 시 검사 등에 소요되는 기간을 기존 34일에서 9일로 최대 25일 단축할 수 있게 된다.

기존 15일이 걸리던 기술검토는 2일로, 14일이 소요되던 중간·완성검사는 완성검사 2일로 축소되며 중간검사는 생략된다.

장비당 약 5억원이 소요되던 해외 공인검사기관의 내압·기밀 검사(중간검사) 비용도 절감된다. 산업부는 EUV 장비를 특정설비로 지정해 3년 주기 공장심사와 종합공정검사를 실시함으로써 기존과 동등한 수준의 안전성을 확보한다는 방침이다.

개정안에 포함된 EUV 노광장비는 파장 13.5㎚ 극자외선을 이용해 웨이퍼에 초미세 회로를 그리는 장비로 네덜란드 ASML사가 전 세계에 독점 생산하고 있다.

이번 개정안에는 친환경 '액화 이산화탄소 세정설비'의 국내 최초 상용화를 위한 맞춤형 검사 기준과 특별교육도 신설된다. 물과 세제 대신 이산화탄소(CO₂)를 사용하는 이 설비는 규제샌드박스(2022년 3월~2026년 3월)를 통해 안전성이 검증됐다.

위험성이 낮은 고압가스시설의 안전관리자 선임 기준도 현실화된다. 상업용 액화 이산화탄소 세정설비의 안전관리 책임자 자격요건을 가스기능사에서 특별교육 이수자로 완화하고 안전관리원 선임 대상에서 제외한다.

고압가스 저장시설 안전관리자 자격요건은 일반시설 양성교육(94시간)에서 저장시설 양성교육(55시간)으로 변경되며, 특정고압가스 사용신고시설의 선임 기준은 250㎏ 초과에서 500㎏ 초과로 완화된다. 1시간당 처리능력이 60㎥ 이하인 소규모 공기충전시설은 안전관리원 선임 대상에서 제외된다.

이외에도 동일 지역 내 복수 냉동제조시설의 안전관리자 공동 선임 가능 여부를 판단하는 주체를 허가관청(시장·군수 등)으로 명확히 규정했다. 기업의 상호나 대표자가 변경될 때 시설별 허가·신고 방식 대신 일괄 처리가 가능하도록 서식을 신설해 행정 절차를 간소화했다.

김정관 산업부 장관은 "이번 법령 개정은 안전 확보와 첨단산업 경쟁력 강화를 동시에 달성하기 위한 대표적인 규제혁신 사례"라며 "앞으로도 글로벌 기준에 부합하는 합리적 안전관리 체계를 통해 첨단산업 투자를 적극 지원해 나가겠다"고 강조했다.