세메스, 대한기계학회와 KSOIC 대회 개최…우수논문 시상

제10회 대한기계학회-세메스 오픈 이노베이션 챌린지 행사

“전략적 파트너십 통해 차별화된 고성능 장비 개발 앞당긴다”

심상필 제11대 세메스 대표ⓒ세메스

국내 최대 반도체 장비업체인 세메스는 강원도 하이원 그랜드호텔에서 제10회 대한기계학회-세메스 오픈 이노베이션 챌린지 행사를 열고 산학 기술교류 촉진을 위한 우수논문 시상식 및 수상작 발표회를 가졌다고 12일 밝혔다.

이 행사는 반도체·디스플레이 장비 공정기술 및 초정밀 센서 계측기술 등 산업현장에서 활용될 수 있는 기계공학 분야의 논문 공모전으로 국내최초로 시행되고 있는 산학 오픈 이노베이션 대회다.

올해로 창립 80주년을 맞는 대한기계학회는 회원수가 3만명이 넘고 한 해 논문발표 실적도 1600편에 달하는 국내 최대의 학술 단체다. 세메스는 대한기계학회와의 전략적 파트너십을 통해 고성능의 차별화된 장비 개발을 앞당긴다는 전략이다.

이번 공모전은 국내 28개 대학 및 연구기관으로부터 ▲생산설비기술▲CAE기술 ▲계측제어기술 ▲열/유체/소재기술 ▲공정기술 ▲AI기술 등을 주제로 총 96편의 제안서를 접수받아 대상 1팀, 금상 2팀 등 총 12개팀을 선정했다.

대상은 '이벤트 카메라 기반 3D-LPT를 통한 웨이퍼 엣지 액적 충돌 메커니즘 규명'을 논문 주제로 발표한 서울대 기계공학과 박형민 교수팀이 수상했다. 금상은 KAIST 기계공학과 박인규 교수·서강대 기계공학과 박정열 교수 팀이 각각 차지했다.

올해로 10회째를 맞은 이 대회는 그동안 100여편이 넘는 수상작 가운데 반도체 초임계, 클린, 자동화, 검사, 센서 및 디스플레이 분야의 혁신 기술을 선정해 총 10개의 산학과제를 수행했으며, 차세대 핵심장비 개발을 위한 다수의 정밀 측정기술, 계측 장비기술, 센서 기술, 초미세 제어기술 등을 확보하는 성과를 거두었다고 회사측은 설명했다.

심상필 대표는 “앞으로도 학회의 우수한 연구 인프라를 활용해 시장에서 요구하는 고난이도 반도체 공정장비 기술개발에 앞장서겠다”고 밝혔다.