美 엑셀리스, 평택 오성 외투지역에 신규 제조시설 착공

세계 반도체 이온주입 장비시장 양대 기업...도, 추진 반도체 초격차 전략 실현에 가속도 기대

575억 투자해 1만8800㎡ 규모의 아시아 거점센터 조성...2028년 준공 목표

미국 반도체 이온주입 장비회사 엑셀리스는 20일 평택 오성 외국인투자지역에 제조시설 설립을 위해 착공식에 추미애 경기도지사를 비롯해 최원용 평택시장, 러셀 로우(Russell Low) 엑셀리스 사장 겸 최고경영자(CEO), 박영근 엑셀리스코리아 대표 등이 참석해 첫 삽을 뜨고 있다.ⓒ경기도 제공

세계 반도체 이온주입 장비시장을 선도하는 양대 기업 중 하나인 미국 엑셀리스(Axcelis Technologies)가 평택 오성 외국인투자지역에 575억 원을 투자해 신규 제조시설을 설립한다.

20일 경기도에 따르면 엑셀리스는 평택 오성 외국인투자지역 내 2만2326.5㎡ 부지에 약 575억원(4100만 달러)을 투자해 연면적 약 1만8800㎡ 규모의 아시아 거점센터를 조성할 예정이다.

이번 투자는 기존 평택 아시아 운영센터(AAOC)를 확장·이전하는 증액투자로, 2028년 상반기 준공을 목표로 하고 있다.

신규 시설에는 반도체 이온주입 장비 제조용 클린룸과 아시아·유럽 부품 공급을 위한 허브창고, 고객 트레이닝센터 등이 들어선다.

엑셀리스는 미국에서 생산하던 일부 장비와 제품을 한국으로 이전해 아시아 수출 물량의 한국 생산 비중을 확대하고, 글로벌 고객사에 대한 장비 공급과 기술지원 역량을 강화할 계획이다.

도는 엑셀리스의 투자 실현을 위해 미국 본사 임원 면담, 적합 부지 발굴, 인허가 협의 등 단계별 지원을 이어왔다. 한국과 싱가포르, 말레이시아 간 투자입지 경쟁 끝에 경기도를 투자지역으로 선택한 엑셀리스는 지난 9월 평택 오성 외국인투자지역 입주계약을 체결했다.

도는 세계적인 반도체 제조기업과 소재·부품·장비 기업이 집적한 경기남부에 엑셀리스의 핵심 장비 생산시설이 확대되면 반도체 공급망 안정과 첨단산업 경쟁력 강화에 기여할 것으로 보고 있다.

또, 도내 중소기업과의 상생협력도 확대될 것으로 보인다. 엑셀리스 코리아는 2022년 국내 제조를 시작한 이후, 국내 중소기업 35개사와 협력관계를 구축하며 상생 협력의 기반을 강화하고 있다.

엑셀리스는 미국 매사추세츠주에 본사를 두고 있으며, 대표 제품인 ‘퓨리온(Purion)’ 시리즈는 반도체의 전기적 특성을 정밀하게 조절하는 이온주입 공정에 활용된다. 특히 전기차와 산업용 전력기기에 사용되는 실리콘카바이드(SiC) 전력반도체 분야에서 높은 기술 경쟁력을 보유하고 있다.

한편, 엑셀리스는 이날 평택 오성 외국인투자지역에서 착공식을 개최했다. 착공식에는 추미애 경기도지사를 비롯해 최원용 평택시장, 러셀 로우(Russell Low) 엑셀리스 사장 겸 최고경영자(CEO), 박영근 엑셀리스코리아 대표, 산업통상부, KOTRA 인베스트코리아 및 삼성전자·SK하이닉스 등 주요 고객사 관계자 50여 명이 참석했다.

추미애 경기도지사가 평택 오성 외국인투자지역에서 진행된 엑셀리스 착공식에 참석해 인사말을 하고 있다.ⓒ경기도 제공

추 지사는 착공을 축하하며 “이번 투자는 평택에서 쌓아 온 제조 역량을 바탕으로 생산과 물류, 고객 교육까지 기능을 확대하는 뜻깊은 출발이라 생각한다"며 "경기도를 믿고 투자해주신 만큼, 그 믿음에 확실한 성과로 보답하겠다.”고 말했다.

이어 “경기도는 전력과 용수를 안정적으로 확보하기 위해 중앙정부, 관계기관과 긴밀히 협력하고 있으며 직접 반도체초격차위원회를 운영하고 있다”며 “세계적인 기업들이 경기도를 주저없이 선택할 수 있도록 결과로 증명해내겠다. 기업이 믿고 안심하고 투자할 수 있도록 하고, 세계 반도체 산업의 미래를 이끄는 데 더욱 속도를 내겠다.”고 강조했다.

러셀 로우 엑셀리스 최고경영자는 “이번 투자는 단순한 생산능력 확대를 넘어 글로벌 기술력과 한국의 우수한 제조 역량을 연결하는 중요한 투자”라며 “국내 고객사 및 협력사와의 긴밀한 파트너십을 바탕으로 AI 시대 반도체 혁신을 뒷받침하고, 산업 생태계가 함께 성장하는 새로운 기회를 만들어 나가겠다.”고 했다.