세메스, 반도체 검사장비 '프로브 스테이션' 5000호기 출하

2003년 첫 양산 이후 22년 만에돌파

세메스 반도체 검사장비 프로브 스테이션ⓒ세메스

세메스는 반도체 검사장비 프로브 스테이션(설비명 SEMPRO) 5000호기 출하식을 열었다고 8일 밝혔다.

프로브 스테이션은 반도체 전기특성검사(EDS) 공정에서 테스터와 웨이퍼 위의 칩을 연결하는 자동화 설비다.

세미스는 2003년 첫 양산 이후 22년 만에 5000호기 출하를 달성했다.

세메스는 "프로브 스테이션은 업계 최고 수준 고대역폭메모리(HBM) 테스트 발열 제어와 고하중 컨택 정밀도를 기반으로 EDS 공정 효율화에 기여하고 있다"며 "최근에는 무인자동화 기능을 적용해 스마트 팩토리형 장비를 생산하고 있다"고 설명했다.

최병갑 팀장은 "이번 5000호기 출하는 장비의 품질과 신뢰성을 인정받은 결과"라며"AI 및 HBM 같은 고성능 반도체의 수요증가로 반도체 웨이퍼 테스트 공정의 난도가 높아지는 가운데 HBM 테스트 분야에서도 경쟁사 대비 기술우위를 확보하게 됐다"고 말했다.