세메스, 로터스로 2018 IR52 장영실상 수상

습식 세정설비로 최고 산업기술상 수상

습식 세정설비 로터스.ⓒ세메스

습식 세정설비로 최고 산업기술상 수상

반도체디스플레이 장비업체 세메스(대표 김용식)은 최근 국내 최고의 산업기술상인 IR52 장영실상을 수상했다고 21일 밝혔다.

IR52 장영실상은 과학기술정보통신부가 주최하고 산업기술진흥협회가 주관하는 시상식으로 세메스는 반도체 매엽식 습식 세정설비인 로터스(LOTUS)를 출품했다. IR52는 인더스트리얼 리서치(Industrial Research)의 약자로 지난 1991년부터 매년 산업기술 우수제품을 선정해 시상하고 있다.

로터스는 반도체 클린공정에서 웨이퍼 표면의 박막물질이나 파티클(불순물)을 제거하기 위해 케미컬 식각(Etch)·박리(Strip) 후 세정하는 설비다.

전 세계 최초로 19㎚ 미세공정용 설비로 개발됐으며 기존 대비 파티클 제거능력 향상과 함께 챔버 수를 8개에서 12개로 늘려 시간당 웨이퍼 처리속도 및 용량을 500장 이상으로 대폭 늘렸다.

김용식 세메스 대표는 “세계시장 점유율 1위를 목표로 개발된 로터스 설비가 이 상을 받게 돼 매우 뜻깊게 생각한다”며 “향후 반도체 장비 시장에서 설비 성능향상 뿐만 아니라 디자인 측면에서도 우수한 신개념의 설비를 계속 선보일 예정”이라고 밝혔다.

한편 지난해 업계 최초로 매출 2조원을 돌파한 세메스는 반도체 및 디스플레이 전공정 핵심장비 개발을 통해 오는 2025년 글로벌 톱5 진입을 목표로 하고 있다.